Introduction

半導體及封裝製造

I-line 光阻劑 EPI 620 系列

EPI 620系列具有高解析度和耐熱性佳的正型光阻劑,應用於積體電路的製造。

 

● 高解析度
● 附著性佳
● 耐熱性佳
● 較大製程寬容度