Introduction

平面顯示器製造

顯影液 KOH type

 ENPD22 & 23是一高濃縮水溶性無機鹼顯像液。主要搭配於負型光阻劑之顯像,並提供良好顯像能力。

 

● 顯影製程寬容度高
● 製造過程具低起泡性
● 易於使用的高濃縮溶液
   (因是濃縮的鹼液,在使用前原液必須以去離子水稀釋,ENPD 22為1:50,ENPD 23為1:100。)