Introduction

半導體及封裝製造

G-line 光阻劑 EPG 510 系列

EPG 510系列具有高敏感度和耐熱性佳的正型光阻劑,應用於積體電路的製造。

 

高敏感度

附著性佳

耐熱性佳

較大製程寬容度