Introduction

發光二極體製造

磊晶用光阻劑 EPG 560 系列

EPG 560 & EPG 562系列為正型厚膜光阻劑,應用於光阻厚度6~11µm的ICP蝕刻製程。

 

● 高感度
● 抗ICP蝕刻特性佳
● 耐熱性佳