Introduction

發光二極體製造

磊晶用光阻劑 EPG 528系列

EPG 528正型光阻劑和基材間有良好的附著性並有良好的抗蝕刻性,可應用於LED磊晶製造之製程,可應用於Spin塗佈製程。

 

● 抗蝕刻性佳
● 附著性佳
● 去除性佳