FSR 110系列正型光阻劑具有高解析度和良好的抗蝕刻性,可應用於軟性基材及COF製程。可應用於Spinless塗佈製程。
● 軟性基材適用
● 高解析度
● 高感光性
● 抗蝕刻性佳
● 較大製程寬容度
● 可顯影於氫氧化鉀或碳酸鈉溶液